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ASPIRER 3000非線性光學晶圓缺陷檢測系統可以提供晶圓級別的缺陷檢測，對界面及膜層質量進行綜合測試分析，提升各類制程的良率。獨有的非線性光學技術配合自主研發的檢測系統可提供超高的檢測靈敏度，并對有、無圖案晶圓均有良好的適用性。ASPIRER 3000機臺可滿足客戶在研發和量產中對晶圓質量的快速、無損、精準檢測需求。

BRAVERY 3000 是具有巨大市場價值的新型晶圓缺陷檢測設備，其采用光調制反射技術，可實現對晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內部檢測，精準診斷與定位晶圓缺陷，該產品對有/無圖案晶圓均適用，可填補當前國內市場離子注入工藝非接觸檢測設備的國產化空白，實現晶圓注入質量特性檢測量產化。